光刻机是一个庞大机器,运送过来的时候,却是拆散的,因为这样精密的部件,根本经不起长时间运输的颠簸,这也是那些安装服务人员更加重要的原因,他们调试不好,影响的甚至都不止芯片的良品率,还有光刻机的使用寿命。
不过这恰好方便了杨青对于光刻机的改造。
可以这么说,从镜头到光源,没有一处地方,不需要改造的,当初一条中试线,杨青足足花了几个月时间进行改造。
现在不用了,因为现在不仅机器人数量更多,而且小嫒已经有了完善的改造方案,不过这套方案里,已经没有杨青的位置了。
白一领着机器人,先是重新打磨光刻机的镜头,来自倭国理光的镜头,看上去已经没有任何瑕疵了,但是经过白一它们的打磨,还有全新镀层的喷涂,深紫外光的透光率,直接达到了百分之九十九点九九。
聚焦能力也是更加突出,不用多次曝光,也能直接光刻14纳米的芯片,要知道这一般是极紫外光刻机,换了新光源的EUV的绝技,却被一套改造后的镜头,给直接达到了。
这显然也已经到了193纳米深紫外光的极限,继续进步下去,就要换成波长更短的极紫外光了。
然后是工作台,里面的电机也经过了重新的调教,控制效果更好,如果不是担心人造肌肉的意义比较重大,杨青甚至打算给它们都换上人造肌肉,保证工作台位移的精度。
并且工作台还可以进行一定程度的倾斜,非如此,也难以完成真3D晶体管的光刻。
总之,大改以后,再也看不出原本尼康光刻机原本的样子,而且后面还加上了封装测试设备,使之一次性就能完成光刻,刻蚀,离子注入,银离子溅镀等一系列的工作,最终拿到的就是封装后的成品。
当然所有硬件的改动,都没有软件的改变大,可以说里面所有的驱动程序,还有操作系统,都被小嫒取代,变成了新的。
开始了光刻机的改造,杨青依然是保持着朝九晚五的状态,不过里面的机器人,却是二十四小时不停地工作,除非是没电了,才会暂停一会充电。
明明就只有四十个机器人,它们却做出了一千人的工作效率,而且工作起来,几乎没有任何的错漏,这恐怕也是人力在未来,会被机器人取代的原因吧。
然而就算是机器人们再忙,改装的工作也实在太多,差不多是重新早了一台全新的光刻机,每天从物流,发送过来的配件,也是源源不断,差不多堆满了无尘车间前面的小广场。
杨青只是最初关注了一下光刻机的改造工作,然后就继续投入到自己的傀儡炼制中来。
期间,威华这样的盟友,并不是不想派遣工程师,一起投入到光刻机的改造中来,但是都被杨青言辞拒绝。
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